XRF是一种确定各种材料化学组成的一种分析方法。被测材料可以是固体、液体、粉末或其它形式。XRF还可测定镀层和薄膜的厚度及成分。XRF具有分析速度快、准确度高、不破坏样品及样品前处理简单等特点。应用范围广泛，涉及金属、水泥、油品、聚合物、塑料、食品以及矿物、地质和环境等领域，在医药研究方面，XRF也是一种非常有用的分析方法。
 

　　XRF分析的精密度和重现性很高。若有合适的标准，分析的准确度非常高，当然没有标准时也可以分析。测量时间取决于待测的元素数目和要求的精度，在几秒30分钟间变动。测量后的数据处理时间只需几秒钟。
 

　　XRF元素分析仪的XRF工作原理：
 

　　一束高能粒子(射线)在与原子的相互作用下，如果其能量大于或等于原子某一轨道电子的结合能时，可以将该轨道的电子逐出，形成空穴；此时原子处于非稳定的状态，在较短的时间内，轨道的外层电子向空穴跃迁，使原子恢复稳定状态。 那么，在外层电子跃迁的过程中，两个壳层之间的能版量差就以特征的X射线形式溢出原子。
 

　　元素周期表中，不同元素的特征X射线具备特征的能量与波长(波粒二象性)，XRF内部的核心部件 半导体探测器，收集特征X射线辨识能量范围，来对应相应能量的元素。即为能量型权XRF的工作原理的简单解释。同理，用于检测特征波长来对应相应元素的仪器被称为波长型XRF。通常后者比前者的分析精度更高，其价格也是相差数倍之多。