能谱仪是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。
能谱仪的性能指标：
固体角:决定了信号量的大小，该角度越大越好
检出角:理论上该角度越大越好
探头:新型硅漂移探测器(SDD)逐步取代锂硅Si(Li)探测器
能量分辨力:较别的能谱仪分辨力可达121eV
探测元素范围:Be4~U92
能谱仪的测试原理：
当X射线光子进入检测器后，在Si(Li)晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的较低平均能量ε是一定的(在低温下平均为3.8ev)，而由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε，因此，入射X射线光子的能量越高，N就越大。利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对，经过前置放大器转换成电流脉冲，电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器，脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数，这样就可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱。
能谱仪的使用范围：
1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析;
2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定;
3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如:金属化膜表面镀层的检测;
4、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域;
5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。
